阵容
平板显示器以惊人的清晰度渲染图像. 尼康系列包括支持世界上最大板尺寸的型号, 支持全球水晶显示器的制造.
fx - 103 sh / 103年代
性能
水平滑动以查看完整的表.
| fx - 103 sh | fx - 103 s | |
|---|---|---|
| 分辨率(L / S) | 2.2µm (g+h+i-line) | 3.0µm (g+h+i-line) |
| 投影放大 | 1:1 | |
| 覆盖 | ≦ ±0.5 µm | |
| 板的大小 | 2,940 mm × 3,370 mm | |
| 节拍时间 | 60年代/板 条件:2,940 mm × 3,370 mm, 4次扫描，g+h+i线，30 mJ/cm2 |
|
fx - 88 s
性能
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| 分辨率(L / S) | 1.5µm (线上) |
|---|---|
| 投影放大 | 1:1 |
| 覆盖 | ≦ ±0.40 µm |
| 板的大小 | 2,200mm × 2,500 mm |
| 节拍时间 | 47岁的s /板 条件:2,200mm × 2,500 mm, 4次扫描，i线，30 mJ/cm2 |
fx - 86 sh2/86s2
性能
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| fx - 86 sh2 | fx - 86 - s2 | |
|---|---|---|
| 分辨率(L / S) | 2.2µm (g+h+i-line) | 3.0µm (g+h+i-line) |
| 投影放大 | 1:1 | |
| 覆盖 | ≦ ±0.5 µm | |
| 板的大小 | 2,200mm × 2,500 mm | |
| 节拍时间 | 49 s /板 条件:2,200mm × 2,500 mm, 4次扫描，g+h+i-line, 30 mJ/cm2 |
|
FX-6AS
性能
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| 分辨率(L / S) | 1.2µm (线上) |
|---|---|
| 投影放大 | 1:1 |
| 覆盖 | ≦ ±0.23 µm |
| 板的大小 | 1500mm × 1850 mm |
| 节拍时间 | 42个s /板 条件:1500mm × 1850 mm, 4次扫描，i线，30 mJ/cm2 |
fx - 68 sh / 68年代
性能
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| fx - 68 sh | fx - 68 s | |
|---|---|---|
| 分辨率(L / S) | 1.2 µm*1 (线上) | 1.5µm (线上) |
| 投影放大 | 1:1 | |
| 覆盖 | ≦ ±0.27 µm | |
| 板的大小 | 1500mm × 1850 mm | |
| 节拍时间 | 42个s /板 条件:1500mm × 1850 mm, 4次扫描，i线，30 mJ/cm2 |
|
- *1当使用相移掩模时
fx - 67 s2/67s
性能
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| fx - 67 - s2 | fx - 67 s | |
|---|---|---|
| 分辨率(L / S) | 2.0µm (g+h+i-line) | |
| 投影放大 | 1:1 | |
| 覆盖 | ≦ ±0.5 µm | |
| 板的大小 | 1500mm × 1850 mm | |
| 节拍时间 | 57 s /板 条件:1500mm × 1850 mm, 4次扫描，g+h+i-line, 30mj /cm2 |
61年代/板 条件:1500mm × 1850 mm, 4次扫描，g+h+i-line, 30mj /cm2 |
fx - 66 s2/66s
性能
水平滑动以查看完整的表.
| fx - 66 - s2 | fx - 66 s | |
|---|---|---|
| 分辨率(L / S) | 3.0µm (g+h+i-line) | |
| 投影放大 | 1:1 | |
| 覆盖 | ≦ ±0.6 µm | |
| 板的大小 | 1500mm × 1850 mm | |
| 节拍时间 | 53个s /板 条件:1500mm × 1850 mm, 4次扫描，g+h+i-line, 30mj /cm2 |
55 s /板 条件:1500mm × 1850 mm, 4次扫描，g+h+i-line, 30mj /cm2 |
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